Clean FA
支撑工厂不间断运转
半导体在当今社会是不可或缺的存在，
它的生产需要在严密的无尘环境中经由数百道工序加工而成。
Muratec面向半导体工厂开发的搬运系统采用了
是一种能灵活利用空间于空中走行式的搬送设备。
最大化地提升各工序间的搬送效率，为一年365天、
一天24小时不间断运转的半导体工厂实现高可靠性。
搬运系统连接着半导体工厂中大多数的工序，因此对可靠性及稳定性有较高要求。为了达到这一要求，不仅要求提升搬送车在移 动中高效稳定性，并且拥有能对行进路线做最优化配置的群控制等的先进系统控制技术。提出了“Full Fab AUTOMATION”， 其目标不仅限于生产工序间的搬运，还包括无尘室外的搬入·发货区域在内的半导体工厂内的所有“物品”、“物品”的检测、可 视化、最佳配置、搬运自动化。
OHT
AGV
OHT（空中走行式无人搬送车 - 天车）、AGV（无人搬送车）、HTC（高通量传输机）
载具存储库
无图案晶圆储存器
载具存储库、无图案晶圆储存器、无图案晶圆储存器、工艺机台前缓存设备、净化系统
MCS（物料控制系统）、MDS（MCS 调度系统）
空中走行式无人搬送车（OHT）作为搬送系统的核心，其空中轨道能突破楼层及建筑物的限制覆盖整个工厂，因此能连通超大型工厂内部的各道工序车间，以此搬 送半导体材料——晶圆存储器（FOUP）。搬送系统集合了能配合各工序生产运转的储存器、暂存器等存储库，搭建最符合生产要求的流水线。
