半导体制造工厂使用的搬送系统

AGV (无人搬送车)

一种自动化搬送装置，装配有多关节的机械臂，能够在地面上行驶，可“直接”进入保管设备及工艺设备。
“AGV”是Automated Guided Vehicle的简称。无人搬送车可通过高度精确的导航系统在复杂的路线上灵活运动，将载体运往工艺设备。