半导体制造工厂使用的搬送系统

存储库

无尘室内的临时存储库，可缩短工艺设备流程结束到下一工艺设备流程开始之间的时间差。我们可提供一系列的存储解决方案以满足您的需要，例如用于存储载体（FOUP或RSP）的存储库、工艺设备流程开始前的暂时存储站台(TS300)

Tool Station (TS300)

工艺设备装卸口前的暂时存储站台。
“TS300”是Tool Station 300的简称。其可在新生产线或现有生产线上安装（只要设备符合E15.1 SEMI标准）。

通过该装置，载体（FOUP）可在最接近工艺设备的位置得到暂时存储。此外，通过在各个工艺设备上安装独立的传输单元可减少流程结束后到下一次流程开始之间更换FOUP的时间，从而提高检查设备（尤其是检查时间较短的设备）的操作效率。