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控制/ 管理系统

控制/ 管理系统

这是对半导体工厂内的搬送与存储设备进行统括控制的自动搬送设备综合管理系统。

MCS(Material Control System)

向各种搬送设备下达厂内所有搬送与存储指令,并可对系统内的搬送物品进行追踪等,灵活满足客户的多样化需求。

MDS(MCS Dispatching System)

◼︎让MES将多个FAB视作一个整体

· 负责将来自MES的搬送请求分发至各MCS

· 中转各MCS的报告并汇报给MES

◼︎跨厂房搬送

· MES无需区分各MCS即可发出搬送请求

· 可选择多条跨厂房连接路径,实现跨MCS搬送

· 无需为跨厂房搬送额外安装MES或进行载具信息交接

◼︎系统间通信

· 使用CORBA通信与MES及下层MCS连接

系统间通信