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搬送设备
搬送设备
在空中轨道上行驶,通过皮带驱动的提升部件“直接”进入存储设备和制造设备的装载口的自动化运输系统。
OHT是Overhead Hoist Transport（空中走行式无人搬送车）的缩写。自300mm半导体工厂问世以来，其作为主力搬送系统已得到广泛认可，如今不仅用于工序内搬送，还应用于工序间乃至厂房间的搬送。
这是一款搭载多关节机械臂的地面行走式自动搬送装置，可“直接”对接存储设备及生产设备。
AGV是Automated Guided Vehicle（无人搬送车）的缩写。凭借高精度的导航系统，可在复杂路线上灵活行驶，实现向生产设备等搬送载具。
转移大规模FOUP的输送系统。可单元组合给在布局上提供了高度的自由度,并且可以连接到OHT和垂直输送机。此外，通过对所有载具位置进行实时监控，可有效防止载具丢失。
