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历史沿革
历史沿革
物流系统部（现L&A事业部）内成立无尘技术部
成功开发支持无尘车间的空中搬运系统。正式进军无尘搬运领域。
开发搭载多关节机械臂无人搬运车“Mobile Robot”
向液晶面板工厂交付搬送系统
新设无尘系统事业部。
从德国半导体制造商处承接全球首个300mm晶圆产线搬送系统订单
合并物流系统事业部与无尘系统事业部，设立L&A事业部。
神钢电机（现SINFONIA TECHNOLOGY）的无尘室搬送系统业务独立，与美国Asyst Technologies公司共同成立“Asyst Shinko株式会社”
开始开发具备侧向移载功能的OHT「SRC330」
受让Asyst Technologies Japan株式会社的业务，与无尘系统事业部合并成立“Muratec Automation株式会社”
推出近机台FOUP缓存单元“TS300”
将Muratec Automation株式会社并入村田机械，成立无尘FA事业部
犬山事业所内的实验及展示大楼“Techno Square”竣工
推出OHT（空中走行式无人搬送车）“G3-3X”
推出OHT（空中走行式无人搬送车）“SRC-350X”
伊势事业所搬迁
推出裸晶圆存储立库“CDWX”
推出Panel FOUP OHT
