后端工序对应系统

PLP（Panel FOUP OHT 面板级封装搬送台车）　

村田机械的PLP搬送可实现300mm FOUP搬送车辆与PLP FOUP搬送车辆在同一轨道上行驶与运行。
通过将300mm FOUP搬送中积累的技术应用于PLP搬送，实现了高可靠性与系统通用化。

◼︎面板级封装搬送台车 SRC600

可适配多种载具